OptoMEMS
Optomechanische Detektion kleinster Bewegungsamplituden für hochpräzise mikroelektromechanische Inertialsensoren
Thema Basistechnologien für Quantentechnologien
Fördermaßnahme Wissenschaftliche Vorprojekte (WiVoPro)
Projektlaufzeit 01.11.2023 - 31.10.2026
Projektvolumen 599012
Förderquote zu 100,0 % durch das BMFTR gefördert
Beschreibung
Motivation
Die präzise Detektion kleinster Bewegungen in Inertialsensoren auf Basis mikro-elektro-mechanischer Systeme (MEMS) soll in diesem Projekt durch Detektionsansätze, die auf optischen Welleneffekten basieren, wesentlich verbessert werden. Insbesondere bei Gyroskopen wird für Lösungen auf der Basis integrierter photonischer Komponenten ein deutlicher Entwicklungsschub erwartet, zu dem die Projektpartner FhG ENAS und TU Chemnitz mit theoretischen und technologischen Vorarbeiten beitragen wollen.
Ziele und Vorgehen
Die Zielstellung des Projekts besteht darin, eine innovative optomechanische Kopplung von optischen Resonatoren mit MEMS-Resonatoren zu erforschen und hinsichtlich der theoretischen und tatsächlich erreichbaren Performance (Sensitivität) zu untersuchen. Die mechanischen Bewegungen erzeugen eine Verstimmung des optischen Resonators, hohe Gütefaktoren bewirken dabei eine große Signalverstärkung. Es werden optomechanische Strukturen entworfen und eine Opto-MEMS-Technologie mit in der Waferebene integrierten photonischen Komponenten (z.B. Wellenleiter, Gitterkoppler, Ring- Resonatoren) entwickelt, und die Umsetzung anhand von Labormustern demonstriert.
Innovation und Perspektiven
Somit werden die Grundlagen für neuartige Opto-MEMS mit einem breiten Anwendungsbereich geschaffen, wie z.B. Navigationssysteme für autonomes Fahren, Robotik oder Satelliten und hochpräzise gravimetrische Sensoren. Damit leistet das Projekt einen wesentlichen Beitrag zur Steigerung der Innovationskraft der Photonik in Deutschland.
Koordinierender Projektpartner
Dr. Roman Forke
E-Mail: roman.forke@enas.fraunhofer.de
Projektpartner
Weitere Infos
Weitere Projekte dieser Fördermaßnahme
ParallelQT
Projektlaufzeit: -
OZi-Spec
Projektlaufzeit: -
EUSTA
Projektlaufzeit: -
STELLAR
Projektlaufzeit: -
ElOpGla
Projektlaufzeit: -
DESLaser
Projektlaufzeit: -
STRESSQC
Projektlaufzeit: -
LiDAR4Health
Projektlaufzeit: -
Quantoskop
Projektlaufzeit: -
FLITS
Projektlaufzeit: -
Intelli-Las
Projektlaufzeit: -
SQCAM
Projektlaufzeit: -
QuSel
Projektlaufzeit: -
ALP-4-SiC
Projektlaufzeit: -
Q-CARDS
Projektlaufzeit: -
FuNaPlas
Projektlaufzeit: -
CE‐REX
Projektlaufzeit: -
GFORLASER
Projektlaufzeit: -
Nanopod
Projektlaufzeit: -
DIGI‐VIEW
Projektlaufzeit: -
QuantumGyro
Projektlaufzeit: -
QLaser‐A
Projektlaufzeit: -
ADOC
Projektlaufzeit: -
SPOTLITE
Projektlaufzeit: -
NbNanoQ
Projektlaufzeit: -
ORION
Projektlaufzeit: -
CoLuM
Projektlaufzeit: -
PumpHEL
Projektlaufzeit: -
Smart-Beam
Projektlaufzeit: -
UltraLOQ
Projektlaufzeit: -
CryoSoQ
Projektlaufzeit: -
HINODE
Projektlaufzeit: -
GETNAB
Projektlaufzeit: -
QSi2V
Projektlaufzeit: -
UV-KrisP
Projektlaufzeit: -
ZIPlaK
Projektlaufzeit: -
2DEALAS
Projektlaufzeit: -
MesSi
Projektlaufzeit: -
MESSIC
Projektlaufzeit: -
MINOSENS
Projektlaufzeit: -
PhasTA
Projektlaufzeit: -
QUBIS
Projektlaufzeit: -
QVac
Projektlaufzeit: -
MiLaQu
Projektlaufzeit: -
OptoGaN
Projektlaufzeit: -
ED-VECSEL
Projektlaufzeit: -
QuMa2
Projektlaufzeit: -
VorZuQ
Projektlaufzeit: -
KonneQt
Projektlaufzeit: -
PLEKTRON
Projektlaufzeit: -
AmbientKQE
Projektlaufzeit: -
SAEQS
Projektlaufzeit: -
QC4EP
Projektlaufzeit: -
PhaseAdaptS
Projektlaufzeit: -
QuanTEAM
Projektlaufzeit: -
MELODIS
Projektlaufzeit: -
e-BRDF
Projektlaufzeit: -
PhotoPerM
Projektlaufzeit: -
QWeld
Projektlaufzeit: -
LINOBUS
Projektlaufzeit: -
SEMPA-Track
Projektlaufzeit: -
EMDeN
Projektlaufzeit: -
FUMOS
Projektlaufzeit: -
SPINCAV
Projektlaufzeit: -
NewLife
Projektlaufzeit: -
SilQchip
Projektlaufzeit: -
C-MEOW
Projektlaufzeit: -
GISC
Projektlaufzeit: -
EvaDetekt
Projektlaufzeit: -
GRIN 2.0
Projektlaufzeit: -
PhotoDynaLysis
Projektlaufzeit: -
epiNV
Projektlaufzeit: -
TUNARR
Projektlaufzeit: -
U-dQPI
Projektlaufzeit: -
QuoAlA
Projektlaufzeit: -
WelStaMu
Projektlaufzeit: -
MIR-VCSEL
Projektlaufzeit: -
ActiNode
Projektlaufzeit: -
OMiAS
Projektlaufzeit: -
HoChSEE
Projektlaufzeit: -
VIOLET
Projektlaufzeit: -
AeRa-Digital
Projektlaufzeit: -
SEM
Projektlaufzeit: -
UKP-glass2met
Projektlaufzeit: -
miniLicht
Projektlaufzeit: -
LED-ETT
Projektlaufzeit: -